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分光器
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分光エリプソメータ　FE-5000/5000S
紫外可視（250〜800nm）の波長領域で測定可能。多層薄膜の膜厚解析が可能 		大塚電子(株)
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独国 HÜBNERグループ 一部製品の取り扱いを開始
HÜBNERグループは、70年以上にわたって確立してきたイノベーションの精神により200以上の特許を取得。多岐の分野にわたる先進技術と質の高いサービスを誇ります。 		(株)日本レーザー
独国HÜBNER
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短時間露光対応ファイバマルチチャンネル分光器 Ocean SR2
コンパクトかつ軽量な次世代のスタンダード分光器です。高速スペクトル取得（最小積算時間：10μs）と優れたS/N(380:1 typ.)を兼ね備えています。 		オーシャンフォトニクス(株)
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マルチチャンネル分光器　MCPD-9800 他
紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定可能 		大塚電子(株)
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膜厚モニター、反射分光膜厚計、顕微分光膜厚計
マルチチャンネル分光器、ウェハ厚み計、表面形状測定装置、ロードポート対応膜厚測定システム 		大塚電子(株)
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超高速過渡吸収スペクトロメータ（TAS）
fs増幅器やOPAで使用できるフレキシブルなデザイン。広いスペクトル範囲に対応する高分解能スペクトロメータ。 		(株)日本レーザー
Newport Corporation
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