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成膜装置・ターゲット(その他)

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アールエムテック(株)
アドキャップバキュームテクノロジー(株)
(株)オーエステック  [蒸着用ベレット・高純度金属材料・ボンディング加工]
サンユー電子(株)  [電子ビーム蒸着]
(有)新栄特殊金属  [蒸着用ボート・フィラメント]
誠南工業(株)  [蒸着装置]
(株)東栄科学産業  [磁場中熱処理装置]
フィルジェン(株)  [プラズマCVD]
(株)ユーエスアイ  [LB膜作製装置]
Wikipedia関連項目
スパッタリング
真空蒸着
ドライエッチング
化学蒸着(CVD: Chemical Vapor Deposition)


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